洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有 害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及 照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其 室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

 洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好 之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。 世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联 邦标准 209 为多，以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 

209E 与 209D 等zui大之不同在于 209E 表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如 M1、 M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺 中>=0.5μm 之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方 之间，则以 1.5、2.5、3.5….表示。

 美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以 0.1μm 微粒子为计数标准。日本标准之表示法以 Class 1，Class 2，Class 3……Class8 表示，zui好的等级为 Class 1， zui差则为 Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 的幂次方，取其指数而得。