现在不少工厂都要着洁净室，那洁净室有哪些防护要求了？
2020.06.19
洁净室（Cleam Room）不论外在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。洁净室主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为“洁净室”。按照国际标准，洁净室级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
洁净室内需按如下要求设置：
防静电地板：点对点电阻<10E9Ω；点对地电阻<10E9Ω2、
防静电墙板：点对点电阻<10E9Ω；点对地电阻<10E9Ω3、
防静电窗：点对点电阻<10E9Ω；点对地电阻<10E9Ω4、
可靠的接地系统：点对点电阻<1Ω5、
空气电离系统：根据制程工艺确定平衡电压范围和消电时间，推荐：平衡电压<±35V。
除此之外，也要定时消毒。
要进行洁净间的灭菌杀毒处理（车间紫外线照射或臭氧消毒处理）：在洁净间使用一段时间后，部分区域将存在难以清洁到位的区域（如风管内壁），此时，使用紫外线照射或臭氧消毒30分钟以上，可以有效防止霉菌的交叉污染（不可在有人情况下杀菌）。当然，在日常情洁时，由于紫外线对霉菌孢子的杀菌效果有限，可适当配合酒精喷雾等方法进行处理。而因为臭氧具有强氧化性，因此一般一年1-2次。
